三坐標測量機常見故障排查維修：
第一，在使用三坐標測量機時往往都是計算機為終端進行操作，因此就有可能出現執行命令時測量機不運行的情況，這種情況下先從軟件下手，因為很多時候就是指令沒有達到測量機引起的，比如有時候忘記啟用多個PC-IMITS程序時就會導致部分快捷鍵操作失靈，因此要注意入軟件的維護和操作規范才行。
第二，在長期使用之后發現三坐標測量機每次測量作業的結果都偏大，這種情況下先從精密的探頭設備開始著手，如果探頭上有臟東西粉塵等都會導致測量結果偏大，因此要用專門清潔探頭的無水乙醇等來清潔，還有就是探頭和測排的連接部位也容易附著臟東西，這個地方可以用清潔橡皮泥等來清理，然后再來看看各個部件的穩固程度，進而找出原因。
第三，在很多城市冬季使用三坐標測量機的時候會出現斷電的情況，這種情況先來看看室內濕度如何，因為這類精密的測量設備都有使用環境要求，其中濕度太高就會對設備運行造成影響，還有就是定期清理導軌皮帶等部件，確保設備表面清潔也是降低故障率的有效方法。
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